| Лаборатория микроэлектроники

Лаборатория микроэлектроники ЦЛТМ

Проводит исследования в областях:

1.Селективное послойное травление кремниевыхполупроводниковых гетероструктур;

2.Получение, создание, изучение свойств нанокомпозитов серебра и кремния  и проектирование и создание на их основе новых устройств (сенсоров)

Лаборатория использует следующее оборудование: электронный микроскоп Qanta-600 (FEI), ионная колонна Strata 205 (FEI), Установкиплазмо-химического травления полупроводникови диэлектриков Каролина РЕ15 и Nextral-100, Зондовый микроскоп Интегра(НТМДТг. Зеленоград), Оптический микроскоп Axiotron (Zeis), интерференционно-модуляционный микроскоп-профилометр белого света ZygoNewView 7100, линия жидкостной химии, установки прецизионной механической обработки кремниевых гетероструктурOSAP-2 и Multiprep (Allied), установка для микросварки проволокой и лентойTptHB05